Pressure Sensor

VM1103 压力传感器

VM1103 压力传感器

聚芯科技依托中国科学院的技术实力,开发了新一代的柔性压力传感器,该技术有别于现有电阻式、电容式和压电式传感,是全新一类(第四类)传感机理-界面离电子触觉传感技术,即离电子传感器(Iontronic Sensors)VM1102IS,这项技术采用了全新的压力感应原理,并非通过膜的形变来获取外界激励,而是通过可形变的离子材料层和柔性导电材料表面的接触面积改变来感知外部压力。

离电子压力传感器,由于离子材料中存在大量的导电离子,当电解质与电极接触时,其界面会自动形成上拥有超级电容属性的双电层界面电容(EDL)。这种双电层电容是一种由离子和电子相对排布形成的艾米级(Å)结构,其单位面积电容率是传统平行平板电容的10000 倍以上。离电子触觉传感技术,其灵敏度高达1.58μF/kPa,并适合于各种几何形貌表面的压力/压强测量,同时,可以高度模拟人类皮肤触觉的各项特性及指标。

由于该传感方式利用双电层上的超高单位面积电容率,不仅实现了超高灵敏度,并对人体及环境电容噪声有很强的抗干扰能力。从该项技术极为简洁的结构设计中受益,整个传感器件可通过对具有优良机械性能和光学透明度的高分子材料以低成本快速加工的方式制造而成。在此基础上,通过对柔性离电子材料和界面加工工艺的进一步改进,设计并制造出世界上首个超级电容离电子薄膜压力传感设备,其灵敏度优于现有固态压力传感器一千倍以上,是迄今为止世界上灵敏度最高和抗噪性能最强的压力传感器。

同时,这样一个仅有100 微米厚的柔性压力传感器,其光学透明度大于90%,器件的响应时间控制在亚毫秒级,比同类传统的柔性固态传感器快了一个数量级以上。

微聚芯的测力传感器在很多方面都是独一无二的,其测量原理及测量技术领先于现有所有压力测量技术;

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